123.第122章 三大件的解决方案

第122章 三大件的解决方案

EUV光刻机的核心技术,主要由三大系统构成。

首先是EUV光源系统,这个系统负责制造光刻过程中,需要用到的特殊光线。

从第一代的UV光刻机,到第五代的EUV光刻机,光线的波长也从436nm,缩短到了13.5nm,目前所有的光刻机,就是通过光线的不同,来区分技术等级的。

这其中主要涉及到的原理,就是光学中光线波长和清晰度的关系。

最简单的道理,就是进入黄色的钨丝灯房间,大部分人都会感觉视线昏暗,

哪怕多加几个灯泡,也始终感觉没有白色的LED灯那么明亮和清晰。

这就是因为黄色光的波长,要远高于白色光,

光线的波长,就像是海浪一样,越大的波浪,拍打在海防堤上的水位高低起伏就越大。

而这个水位的高低落差,换成在光学领域,就成了影响阴影边缘清晰度的重要因素。

因此,想要达到越小制程的芯片工艺,就需要波长越短,越无限接近绝对直线的光。

而在EUV光源技术上,据康驰目前所能查到的资料来看,国内的常春光所应该也已经接近突破的边缘了,但具体到了哪一步,康驰也不清楚。

他打算先试着了解一下情况,

如果条件允许,价格合适的话,他可能会直接向他们进行采购,

哪怕技术稍微不达标,采购过来自己再进行改良优化,也能节省大量的时间和精力。

毕竟一台光刻机里面,有足足十几二十万的零部件,全靠大唐重工自己来做的话,那得搞到猴年马月去。

而向他们采购,既不浪费他们的科研成果,还能利用上他们的生产力,

也算是共赢了。

所以康驰这次,并不排斥自己成为组装、调试和改良的角色。

放着华国这么完整的产业链不用,反倒自己去搓每个螺丝,不但浪费国内这么好资源和基础,更是闭门造车吃独食的表现。

而能用本国的产业链,来完成一台光刻机的所有零件制造,全球有且只有一个国家才有可能做到,

那就是华国。

换成老M也不行。

他们也没办法只在本国,就找到光刻机全部零部件的供应商,得全球多国合作协同才行。

而巨大的资源协调成本,更是会大大加重整个研发项目的费用和时间,

这也是华国的很多产品,能做到成本远低于国外厂商的主要原因之一。

总之,无论常春光所有没有突破EUV光源的技术,康驰都可以尝试着借用他的研发制造能力,来迅速获得一套可行的光源系统。

现在光刻的光有了,

下一步就是把光,通过一个光学系统,收集并投影到涂上了光刻胶的硅片上面。

这个光学系统,也是整台光刻机中,造价成本占比最大的。

这部分康驰准备对大秦光学的镜头生产线,进行升级,然后把它给拆了,直接获得光刻机镜片和反射镜制造,所需要的大部分设备零件。

这么做的效率无疑会高很多,

而且升级后的生产线,估计连解析项目都没有,

因为里面的大部分技术,康驰在解析光刻机的时候,就已经得到了,他本人拥有非常大的解释空间。

唯一的缺点就是,需要他在接下的项目中,进行一定的混淆视听,把这些拆分开的组件,神不知鬼不觉地掺到整个项目里去。

嗯,

就是欺负严辉他们对光刻机没啥研究,

到时候估计也是康驰让他们干什么,他们就干什么,思考空间并不多。

至于光刻机最后的一个关键系统,则是承载硅片的双工件台系统。

它的工作原理很简单,就是在光刻中不断的挪动硅片的曝光部位,但其中的技术含量其实非常大。

因为这个工作平台必须快、准、狠。

速度,决定了光刻机的效率,

移动太慢了,光刻机的产量就不行,

这就要求它,在高速移动后,还得迅速且精准地停下,

停留的位置误差,还得在1nm以内,

但凡偏差大一点,整个晶圆就直接报废了!

这啥概念?

大概就是一辆高速行驶的汽车,突然紧急刹停,然后停下位置误差还不能超过1毫米。 不过这个难点,在今年5月份的时候,刚好被铪工大给搞定了,

他们研发出来的真空高速超精激光干涉仪,位移的分辨率达到了惊人的5pm,位移误差控制在了30pm!

要知道,1000pm才等于1nm!

0.03nm的位移误差,简直牛逼到不行!

康驰简直怀疑,他们是不是和自己一样开了挂……

讲真,华国能人还是挺多的,

如果不靠系统,康驰自己虽然也有一定的把握可以攻克这种技术,但时间就不知道要多久了……

所以康驰一直也不断地在提醒自己,虽然系统确实好用,但自己学习和理解的脚步同样不能停下。

这不但是为了在解析技术的时候,减轻自己的痛苦,免得突然暴毙,更是为以后万一出现精通点不够,需要自研的情况出现时,不至于两眼一抹黑啥也干不了。

总之EUV光刻机的大部分技术难点,其实华国都已经攻克或即将攻克了,只不过具体哪些能够复刻落地量产,还是个未知数。

为了得到答案,康驰特地打了个电话给吕首长。

当听到康驰问光刻机的事情,吕首长顿时就打起了精神,连忙问道:“你准备搞光刻机研发?”

“嗯,有这个想法。”

“搞光刻机好啊!嗯……不过你不是忙着量产采油虫吗?哪来这么多的时间精力研发光刻机?”

“抽空玩玩呗……”

“……”

随后康驰又在吕首长的沉默中,咨询了关于常春光所EUV光源系统,和铪工大双工件台系统研究情况。

“嗯……他们确实都有了一定的突破,但具体到了什么技术节点,还有多久能实际落地,我也说不准……你可以找张院士问问,这方面他比较清楚。”

于是康驰挂了电话后,又拨通了张达远的电话,

结果张达远一听康驰的问题,直接就说电话上讲不清楚,让他过去燕京面谈。

康驰强烈怀疑,这老头就是想把他骗过去,忽悠他搞那个啥稳态微聚束光源,

但为了争取缩短光刻机研制周期的机会,康驰也不得不从了他……

反正过去后任他怎么说,康驰就是不跟他干,

他还能把康驰给扣了不成?

……

经过了两个多小时飞行,康驰在天黑前就抵达了燕京国际机场,

前来接机的是陈海的同事,三人汇合后,便直奔HEPS项目部。

经过层层安检和报备,康驰终于项目部里面,见到了带着安全帽,穿得像工地工人的张达远。

看到这个已经年近七十的老人,竟然还能精神抖擞地深居一线,亲自参与实验工程的建设,康驰也不禁感到有些佩服。

“张院士,好久不见了。”

刚见面,康驰便主动和他握了握手,赞叹道:“您可真是宝刀未老啊。”

“那必须的。”张达远得意地拉着康驰,“走走走,先带伱参观参观。”

面对张达远的热情,康驰自然也不好拒绝,

何况他本人,其实对这里也挺好奇的,于是便跟着张达远,在这个正在建设中的高能同步辐射光源里面,简单地转了一圈。

上一章差点被4,好在修改后放出来了。

估计如果写的太细太贴近事实,非常容易被4……

稳妥起见,接下来在技术和节点,可能会简单带过,

然后稍微夸张点,反正牛逼就完事了。

希望大家不用去较真找茬,就当是我瞎几把乱吹好了。

嗯,

事实上,我就是在吹牛逼,真的!

(本章完)

第222章 惊喜第290章 打击有点大第331章 这也太香了吧!第376章 康总你可真刑啊!153.第152章 强势插队第12章 突然变得多余第244章 重型银鹤122.第121章 EUV!109.第108章 采集方案第256章 这是鱼鹰?第340章 越想越上头!171.第170章 推销不易第397章 安全感第303章 眼熟的名字第281章 以游客的身份参观第390章 那是想象不出来的东西70.第70章 自主率95!【求首订】第33章 学习的快乐第361章 机器人的速度怎么可能这么快?201.第200章 宁王的困境第273章 固执第16章 有被惊喜到!第385章 赌徒第364章晚上这章不用等,进去了69.第69章 上架感言第371章 《大国院士》第265章 涡扇30测试!64.第64章 这单晶炉是什么鬼第317章 搞,必须搞!第306章 真是在查消防?第349章 智能装备对抗军演154.第153章 两类人第294章 你们到底在干嘛?说明一下71.第71章 遥遥领先!(求订阅)第388章 蒸汽朋克的浪漫23.第23章 李同学放大招了第327章 你馋奖金我馋人第259章 西飞取经?第266章 又镶上了一颗明珠第341章 有必要扶持?第380章 空欢喜一场第242章 如获至宝第356章 经验条涨得也太慢了吧第252章 本能的勇气第329章 选拔模式的问题130.第129章 请叫我小王第32章 大道至简(求追读)115.第114章 三方尽欢72.第72章 风声鹤唳(求订阅)第336章 可以当传家宝的照片第320章 画质逼真62.第62章 你们才是大汉硅业的希望第395章 陈海是谁?!104.第103章 你他娘的还真是个天才!133.第132章 承包一整年的惊喜36.第36章 潘多拉魔盒第212章 移动的印钞机第354章 天空与陆地第301章 雅典娜AI联合实验室96.第96章 这是啥玩意?46.第46章 非直接接触114.第113章 克星第312章 真当没人?第206章 到底谁才是小羊羔?第32章 大道至简(求追读)第220章 盘古基地第300章 六足移动平台第12章 突然变得多余第226章 福利吃满第251章 运气不佳第256章 这是鱼鹰?第239章 真正的在做公益第238章 专业技能发展学院第339章 神丹妙药第199章 当初果然没看错你79.第79章 交个底77.第77章 送枕头来了第356章 经验条涨得也太慢了吧第277章 展会式发布108.第107章 采油虫测试48.第48章 我信你个鬼!第383章 细说,细说!199.第198章 几千亿的布局105.第104章 黄牛?第368章 重大的调整第274章 我需要更强的鱼钩20.第20章 重要声明第251章 运气不佳第239章 真正的在做公益82.第82章 忐忑的方强139.第138章 交互式全息投影第204章 论割韭菜的方式198.第197章 畅所欲言48.第48章 我信你个鬼!23.第23章 李同学放大招了第271章 疯狂的假设130.第129章 请叫我小王162.第161章 这,就是武安吗?
第222章 惊喜第290章 打击有点大第331章 这也太香了吧!第376章 康总你可真刑啊!153.第152章 强势插队第12章 突然变得多余第244章 重型银鹤122.第121章 EUV!109.第108章 采集方案第256章 这是鱼鹰?第340章 越想越上头!171.第170章 推销不易第397章 安全感第303章 眼熟的名字第281章 以游客的身份参观第390章 那是想象不出来的东西70.第70章 自主率95!【求首订】第33章 学习的快乐第361章 机器人的速度怎么可能这么快?201.第200章 宁王的困境第273章 固执第16章 有被惊喜到!第385章 赌徒第364章晚上这章不用等,进去了69.第69章 上架感言第371章 《大国院士》第265章 涡扇30测试!64.第64章 这单晶炉是什么鬼第317章 搞,必须搞!第306章 真是在查消防?第349章 智能装备对抗军演154.第153章 两类人第294章 你们到底在干嘛?说明一下71.第71章 遥遥领先!(求订阅)第388章 蒸汽朋克的浪漫23.第23章 李同学放大招了第327章 你馋奖金我馋人第259章 西飞取经?第266章 又镶上了一颗明珠第341章 有必要扶持?第380章 空欢喜一场第242章 如获至宝第356章 经验条涨得也太慢了吧第252章 本能的勇气第329章 选拔模式的问题130.第129章 请叫我小王第32章 大道至简(求追读)115.第114章 三方尽欢72.第72章 风声鹤唳(求订阅)第336章 可以当传家宝的照片第320章 画质逼真62.第62章 你们才是大汉硅业的希望第395章 陈海是谁?!104.第103章 你他娘的还真是个天才!133.第132章 承包一整年的惊喜36.第36章 潘多拉魔盒第212章 移动的印钞机第354章 天空与陆地第301章 雅典娜AI联合实验室96.第96章 这是啥玩意?46.第46章 非直接接触114.第113章 克星第312章 真当没人?第206章 到底谁才是小羊羔?第32章 大道至简(求追读)第220章 盘古基地第300章 六足移动平台第12章 突然变得多余第226章 福利吃满第251章 运气不佳第256章 这是鱼鹰?第239章 真正的在做公益第238章 专业技能发展学院第339章 神丹妙药第199章 当初果然没看错你79.第79章 交个底77.第77章 送枕头来了第356章 经验条涨得也太慢了吧第277章 展会式发布108.第107章 采油虫测试48.第48章 我信你个鬼!第383章 细说,细说!199.第198章 几千亿的布局105.第104章 黄牛?第368章 重大的调整第274章 我需要更强的鱼钩20.第20章 重要声明第251章 运气不佳第239章 真正的在做公益82.第82章 忐忑的方强139.第138章 交互式全息投影第204章 论割韭菜的方式198.第197章 畅所欲言48.第48章 我信你个鬼!23.第23章 李同学放大招了第271章 疯狂的假设130.第129章 请叫我小王162.第161章 这,就是武安吗?