今天是洪湖市洪山区的中晶微公司晶圆厂设备进厂的日子，两台瑞星科技公司光刻机被存进了恒温仓库，今天被运抵厂区，需要在吊车的协助下吊装进厂房。
此刻厂房二楼外墙上拉开了一扇预留的大门，门下临时搭起了一个运输平台。
起重吊车轰鸣着，将运输卡车上那个用一层层保温材料包裹着的设备箱缓缓吊起，平稳送上了二楼平台，随即设备箱被安装人员在平台上打开，将里面那台用一层层保温防尘膜裹紧的光刻机推到了滑轮台上，然后被小心地推进活动门。
随着被多层薄膜裹得严严实实的两台光刻机前后消失在门内，工作人员将大门缓缓合拢，工程师们鱼贯爬上平台，开始对大门与墙体接缝处进行密封施工。
谭云松此时手拿对讲机发号施令：“设备一组各就各位，立刻对光刻间进行一级除尘，注意控温，三小时后摘除第一层防尘恒温罩，明天天亮之前要把所有防尘恒温罩摘除，明天一定要进入机位安装程序，绝不能耽误瑞星科技公司安装人员的工作日程！”
杨杰在谭云松身旁静静地看着他指挥，心中感慨良多。
这是第一座在洪湖市落户的第一个0.18微米十二英寸晶圆厂，经过一年多的紧张施工，现在终于进入了设备安装调试阶段，这也算是亚洲第一座最先进的晶圆厂了。
“谭总，能把建设周期压缩到一年多，真是了不起呀！”杨杰笑着道。
“这主要是瑞星科技公司的设备能跟得上。”谭云松笑着看了一边的何玉光跟席海清等人。
“呵呵，也是燕京的激光物化所去年年底总算是生产出了合格的氟化氪激光光源，公司总算是生产出了这么几台光刻机。”何玉光笑道。
燕京激光物化所制备出足够功率的准分子激光光源后，瑞星科技公司也是加紧了组装调试的工作，花了大半年的时间总算是将光刻机给生产出来了。
龙宏伟看着杨杰感叹道：“还是小杰你考虑周到，早早地做好了准备，准备了几十套的光刻机配件，现在美国人已经全面禁止这些生产光刻机配件的国外厂商向国内提供配件，否则国内的光刻机还真是被他们给卡死了。”
“我们瑞星科技公司是戳到了美国人的痛处，自然想尽一切办法要掐死我们，我不得不多多些心眼，不过现在国内的光刻机无法从国外采购到配件，现在只能等国内的制备出替代的产品配件了，我也是希望国内能在七八年之内至少能解决光学镜头跟其他大部分配件的生产制造。”
杨杰说道。
“我还是有信心的，杨子光主席也是下了死命令，必须要五年之内出成果。”龙宏伟说道。
他顿了顿，笑着对杨杰说道：“华晶科技公司也想要上0.18微米的制程工艺，小杰你无论如何也得给华晶留几台光刻机跟刻蚀机。”
“龙部长，你们这步子迈得可是很大呀！”
龙宏伟现在已经不再担任信息产业部部长的职位，而是把精力集中在了华晶集团公司的管理上面来。
“虽然华晶现在还在攻克0.25微米的制程工艺，但是也不能跟华越电子公司和你们中晶微落后太远。”
这几年华晶集团公司从国内众多公司手里接到了大量的芯片订单，日子过得相当滋润，手里有了钱，华晶对上更高制程工艺的晶圆厂却是信心十足。
现阶段美国之允许华夏国进口0.35微米的晶圆厂设备，但是华晶现在已经掌握了0.35微米的制程工艺，而且华越电子公司跟中晶微光是产能基本上被华兴科技集团公司给挤占了，国内的公司也只能将将订单交给华晶来完成，今年上半年华晶集团公司就创收40多亿，相比几年之前亏损经营简直是一个天一个地。
相比较而言，华晶集团公司跟中晶微和华越电子公司的营收还是有很大的差距，这主要是两家公司生产的全都是高端芯片，华越电子公司现在去年的营收接近了两百亿，中晶微也是一百六十多亿，都是赚得盆满钵满。
但是高层对华晶集团公司的营收却是十分满意，也是有着如此亮眼的成绩，高层更是坚定了发展半导体的信心。
如果换成是几年之前，中晶微要是投产如此先进的晶圆厂，有可能连杨子光主席都会过来视察，不过这几年国内在半导体上捷报频传，高层对此已经变得习以为常了，再加上杨杰也不想搞得兴师动众，所以也没有向中央和楚北省和洪湖市汇报。
众人来到了公司的办公楼里面的会议室，杨杰也是问起了何玉光跟席海清在研发上的细节问题。
何玉光目前正在全力以赴攻关双工件台智能联动镜头像场精密校准系统，他也是详细地址说了很多技术上碰到的难点，席海清研制的刻蚀机也是遇到了不少的难题。
瑞星科技公司采用可见光与紫外双光谱探测方法来检测电晕信号的存在并对其进行定位，为了实现非常精准的曝光对焦，公司也是召集了人手研发了电晕探测系统紫外对焦控制模块，为了攻克对焦的双闭环控制过程及其软硬件实现方法，杨杰之前也是提供了一些算法，倒是帮助技术团队找到了对焦控制过程中误差产生的原因，减小紫外对焦系统的对焦误差,使紫外相机像面始终处于焦深之内。
不过现在在测试的过程中光刻机运行时间久了还是出现了对焦成功率下降的原因，现在何玉光也是为这个事情抓狂不已。
“你们有没有想过是热敏电阻元器件的问题？”杨杰开口说道：“刚才何总说是温度升高后精度下降，有很大的原因是跟光刻机缺少高精度的温度测量和控制温度的稳定的系统，想必是热敏电阻在温度升高后出现了恒流源不稳定、电压偏移的情况，造成了精度下降。”
何玉光眼中顿时闪过亮光：“对呀，我怎么没想到？！”
杨杰笑了笑：“我也是提供了一个解决问题的方向，何总回去后让提供热敏电阻的国内厂商让他们生产抗干扰能力和性能稳定的热敏电阻，并让他们提供高精度的温度测量系统，选用合理的数学模型跟热值处理方法。”
杨杰也不会越俎代庖，他知道这两位都是各自领域的专家，有些技术只是提供一个想法他们就茅塞顿开了，剩下的东西只是一个不停验证不停改进的过程，并不需要他太过操心。
不过让他感到惊喜的是在机床研究所的帮助下，刻蚀机设备的进展非常大。
这也难怪，刻蚀机的难度比起光刻机的难度还是要小一些的。
因为席海清在射频电源上有着极深的造诣，这几年在射频电源自动匹配器的算法上有了很大的突破，而且龙芯半导体公司两年多之前从清华大学得到CMOS图像传感器后也是组织了技术团队在这上面进行技术攻关，并且通过日本的研发中心找到了这方面的专家加入了团队，图像传感器技术上也是取得了不小的突破，刻蚀机上面就搭载了高分辨率的传感器，极大地提高了刻蚀机的精度。
杨杰也是好生地勉励了这两位专家跟技术团队一番。
“虽然光刻机跟刻蚀机这些设备全世界的份额不是很大，但是却是重中之重，为了激励大家努力工作，总公司这边会考虑在国内能够提供绝大部分的配件后将瑞星科技公司独立出去，到时候再给大家分配股权。”杨杰说道。
杨杰这几年往瑞星科技公司里面一直在砸钱搞研发，至少砸进去了几十亿，现在研发人员已经增加到了接近两千名，现在的瑞星科技公司其实一直都在亏损状态，上次拆分的时候他就没有让瑞星科技公司成为子公司。
他要等到瑞星科技公司熬到国内的配套产业链起来后才会让瑞星开始杀入到国际市场上去，虽然这段时间可能长达六七年，这中间也许还要砸进去两百亿都不止，但是现在的华兴科技集团还是能支撑得住的。